一、應(yīng)用范圍

SJ6000 激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、最高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在 SJ6000 激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)， 以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

二、產(chǎn)品介紹

激光干涉儀以光波為載體，其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，且可以溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，是迄今公認(rèn)的高精度、高靈敏度的測(cè)量?jī)x器，在高端制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

SJ6000 激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá) 50000 小時(shí)；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)最高 4m/s 的測(cè)量速度，以及納米級(jí)的分辨率；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語(yǔ)言，友好的人機(jī)界面、向?qū)�式的操作流程、�?jiǎn)潔化的記錄管理。

三、產(chǎn)品配置

SJ6000 激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。

四、產(chǎn)品特點(diǎn)

SJ6000 激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和

1.材料的自動(dòng)補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
2.可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；

3.可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

4.可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；

5.可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

6.具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

7.友好的人機(jī)界面；

8.豐富的應(yīng)用功能模塊；

9.向?qū)�式的操作流程�?/span>

10.簡(jiǎn)潔化的記錄管理；

11.支持中文、英文和俄文界面；

12.支持企業(yè)專屬模板定制。

13.內(nèi)置 13 份標(biāo)準(zhǔn)，包含 GB、ISO、英標(biāo)、美標(biāo)、德標(biāo)、日標(biāo)等國(guó)內(nèi)外通用標(biāo)準(zhǔn)�？梢罁�(jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。

五、國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

六、技術(shù)指標(biāo)

型號(hào)：WR50

角度測(cè)量范圍：(0~360)°

測(cè)量精度：±1″

分辨力：0.1

最高轉(zhuǎn)速：10rpm

最高跟蹤速度：2rpm

重量：1.9kg

高度：148mm

直徑：112mm

通信方式：藍(lán)牙傳輸供電方式：鋰電池

信號(hào)輸入：差分 TTL(RS422)正交編碼信號(hào)、10μApp 微電流信號(hào)輸出形式：10μs 脈沖

觸發(fā)延時(shí)：0.1μs 供電電源：12VDC

便攜箱尺寸：613mm×460mm×230mm 標(biāo)準(zhǔn)配置重量：18kg

供電電源：(100~240)VAC

激光的安全等級(jí)達(dá)到 Class I 要求

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz

預(yù)熱時(shí)間：約 8 分鐘

工作溫度范圍：(0~40)℃ 存儲(chǔ)溫度范圍：(-20~70)℃ 環(huán)境濕度：(0~95)%RH

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力 0.01℃ 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力 0.01℃ 空氣濕度傳感器：±5%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

測(cè)量距離：(0~80)m (無(wú)需遠(yuǎn)距離線性附件)

測(cè)量精度：0.5ppm (0~40)℃ 測(cè)量分辨力：1nm

測(cè)量最大速度：4m/s

軸向量程：(0~15)m 測(cè)量范圍：±10°

測(cè)量精度：±(0.02%R+0.1+0.25M)″ (R 為顯示值，單位：″；M 為測(cè)量距離，單位：m) 測(cè)量分辨力：0.1″

軸向量程：(0~15)m 測(cè)量范圍：±1.5mm

測(cè)量精度：±(0.2%R+0.02M2)μm (R 為顯示值，單位：μm；M 為測(cè)量距離，單位：m) 基板尺寸：180mm 可調(diào)，360mm 可調(diào)

測(cè)量分辨力：0.1μm

七、配件與證書(shū)